德國PI應(yīng)用掃描顯微鏡壓電工作臺

德國PI公司是精密運動和定位領(lǐng)域的*解決方案供應(yīng)商。

   PI不僅開發(fā)和生產(chǎn)各種定位平臺和執(zhí)行器，用于線性，旋轉(zhuǎn)和垂直運動或不同軸的組合。 PI因此將這些解決方案適應(yīng)客戶特定的應(yīng)用或提供用于運動和定位的成品子系統(tǒng)。

P-541.2 • P-542.2 XY壓電工作臺

§ 低外形、易于集成：16.5毫米

§ 孔徑為80 毫米 × 80 毫米

§ 行程達200 微米 × 200 微米

§ 并聯(lián)運動實現(xiàn)更快的響應(yīng)時間和更高的 多軸精度

§ 高動態(tài)直接驅(qū)動版本

§ 傳感器技術(shù)：價格實惠的應(yīng)變片傳感器 或可實現(xiàn)更的電容式傳感器

§ PICMA壓電陶瓷促動器帶來超長使用壽 命

§ 可與顯微鏡平臺組合實現(xiàn)更長行程

應(yīng)用領(lǐng)域

§ 掃描顯微鏡

§ 高吞吐量顯微鏡

§ 超分辨率顯微鏡

§ 掩模/晶圓定位

§ 干涉測量

§ 測量技術(shù)

§ 生物技術(shù)

§ 顯微操縱

PICMA壓電陶瓷促動器帶來超長使用壽命

的PICMA壓電陶瓷促動器為全瓷絕緣。這可以防潮，避免漏電流增大造成故障。PICMA促動器的使用壽命比傳統(tǒng) 的聚合物絕緣促動器長達十倍。它們被證明可實現(xiàn)*運行1000億個循環(huán)。

帶電容式傳感器，實現(xiàn)亞納米分辨率

電容式傳感器以亞納米分辨率進行測量，且無接觸。它們可確保優(yōu)異的運動線性、長期穩(wěn)定性和千赫茲范圍的帶寬。

零間隙柔性鉸鏈導(dǎo)向帶來高導(dǎo)向精度

柔性鉸鏈導(dǎo)向無需維護、無摩擦、無磨損，無需潤滑。它們的剛性可實現(xiàn)高負(fù)載能力，且它們對沖擊和振動不敏感。 它們真空兼容，可在很廣的溫度范圍內(nèi)工作。

直接位置測量帶來精度

運動直接在運動平臺上測量，*不受驅(qū)動或?qū)蛟挠绊憽＿@樣可以實現(xiàn)較好的重復(fù)精度、優(yōu)異的穩(wěn)定性和剛性 、快速響應(yīng)控制。

訂購信息

P-541.2DD 帶大孔徑的XY向納米定位系統(tǒng)，高動態(tài)直接驅(qū)動，45 微米 × 45微米，并聯(lián)運動，電容傳感器，Sub-D連接器

P-541.2CD 帶大孔徑的XY向納米定位系統(tǒng)，100 微米 × 100 微米，并聯(lián)運動，電容傳感器，Sub-D連接器

P-541.2CL 帶大孔徑的XY向納米定位系統(tǒng)，100 微米 × 100 微米，并聯(lián)運動，電容傳感器，LEMO連接器

P-542.2CD 帶大孔徑的XY向納米定位系統(tǒng)，200 微米 × 200微米，并聯(lián)運動，電容傳感器，Sub-D連接器

P-542.2CL 帶大孔徑的XY向納米定位系統(tǒng)，200 微米 × 200微米，并聯(lián)運動，電容傳感器，LEMO連接器

P-541.2SL 帶大孔徑的XY向納米定位系統(tǒng)，100 微米 × 100微米，應(yīng)變片傳感器，LEMO連接器

P-542.2SL 帶大孔徑的XY向納米定位系統(tǒng)，200 微米 × 200微米，應(yīng)變片傳感器，LEMO連接器

P-541.20L 帶大孔徑的XY向納米定位系統(tǒng)，100 微米 × 100微米，不帶傳感器，LEMO連接器

P-542.20L 帶大孔徑的XY向納米定位系統(tǒng)，200 微米 × 200微米，不帶傳感器，LEMO連接器 配件

P-542.PD1 用于P-54x納米定位系統(tǒng)的培養(yǎng)皿支架，35 毫米 P-542.SH1 用于P-54x納米定位系統(tǒng)的顯微鏡載片支架

產(chǎn)品型號

PI (Physik Instrumente)P-541.2DD 帶大孔徑的XY向納米定位系統(tǒng)，高動態(tài)直接驅(qū)動，45 微米 × 45微米，并聯(lián)運動，電容傳感器，Sub-D連接器 

PI (Physik Instrumente)P-541.2CD 帶大孔徑的XY向納米定位系統(tǒng)，100 微米 × 100 微米，并聯(lián)運動，電容傳感器，Sub-D連接器 

PI (Physik Instrumente)P-541.2CL 帶大孔徑的XY向納米定位系統(tǒng)，100 微米 × 100 微米，并聯(lián)運動，電容傳感器，LEMO連接器 

PI (Physik Instrumente)P-542.2CD 帶大孔徑的XY向納米定位系統(tǒng)，200 微米 × 200微米，并聯(lián)運動，電容傳感器，Sub-D連接器 

PI (Physik Instrumente)P-542.2CL 帶大孔徑的XY向納米定位系統(tǒng)，200 微米 × 200微米，并聯(lián)運動，電容傳感器，LEMO連接器 

PI (Physik Instrumente)P-541.2SL 帶大孔徑的XY向納米定位系統(tǒng)，100 微米 × 100微米，應(yīng)變片傳感器，LEMO連接器 

PI (Physik Instrumente)P-542.2SL 帶大孔徑的XY向納米定位系統(tǒng)，200 微米 × 200微米，應(yīng)變片傳感器，LEMO連接器 

PI (Physik Instrumente)P-541.20L 帶大孔徑的XY向納米定位系統(tǒng)，100 微米 × 100微米，不帶傳感器，LEMO連接器 

PI (Physik Instrumente)P-542.20L 帶大孔徑的XY向納米定位系統(tǒng)，200 微米 × 200微米，不帶傳感器，LEMO連接器 配件 

PI (Physik Instrumente)P-542.PD1 用于P-54x納米定位系統(tǒng)的培養(yǎng)皿支架，35 毫米 P-542.SH1 用于P-54x納米定位系統(tǒng)的顯微鏡載片支架

PI (Physik Instrumente)P-611.2S XY向納米定位系統(tǒng)，100微米 × 100微米，應(yīng)變片傳感器 

PI (Physik Instrumente)P-611.20 XY向納米定位系統(tǒng)，100微米 × 100微米，不帶傳感器 

PI (Physik Instrumente)P-611.XZS XZ向納米定位系統(tǒng)，100微米 × 100微米，應(yīng)變片傳感器 

PI (Physik Instrumente)P-611.XZ0 XZ向納米定位系統(tǒng)，100微米 × 100微米，不帶傳感器

PI (Physik Instrumente)P-612.20L XY 向納米定位系統(tǒng)，130微米 × 130微米，孔徑為20毫米 × 20毫米，開環(huán) 

PI (Physik Instrumente)P-612.2SL XY 向納米定位系統(tǒng)，100微米 × 100微米，孔徑為20毫米 × 20毫米，應(yīng)變片傳感器

PI (Physik Instrumente)P-620.2CD 精密PIHera XY向納米定位系統(tǒng)，50微米 × 50微米，直接位置測量，電容傳感器，Sub-D連接器 

PI (Physik Instrumente)P-621.2CD 精密PIHera XY向納米定位系統(tǒng)，100微米 × 100微米，直接位置測量，電容傳感器，Sub-D連接器 

PI (Physik Instrumente)P-622.2CD 精密PIHera XY向納米定位系統(tǒng)，250微米 × 250微米，直接位置測量，電容傳感器，Sub-D連接器 

PI (Physik Instrumente)P-625.2CD 精密PIHera XY向納米定位系統(tǒng)，500微米 × 500微米，直接位置測量，電容傳感器，Sub-D連接器

PI (Physik Instrumente)P-628.2CD 精密PIHera XY向納米定位系統(tǒng)，800微米 × 800微米，直接位置測量，電容傳感器，Sub-D連接器 

PI (Physik Instrumente)P-629.2CD 精密PIHera XY向納米定位系統(tǒng)，1500微米 × 1500微米，直接位置測量，電容傳感器，Sub-D連接器 

PI (Physik Instrumente)P-620.2CL 精密PIHera XY向納米定位系統(tǒng)，50微米 × 50微米，直接位置測量，電容傳感器，LEMO連接器 

PI (Physik Instrumente)P-621.2CL 精密PIHera XY向納米定位系統(tǒng)，100微米 × 100微米，直接位置測量，電容傳感器，LEMO連接器 

PI (Physik Instrumente)P-622.2CL 精密PIHera XY向納米定位系統(tǒng)，250微米 × 250微米，直接位置測量，電容傳感器，LEMO連接器 

PI (Physik Instrumente)P-625.2CL 精密PIHera XY向納米定位系統(tǒng)，500微米 × 500微米，直接位置測量，電容傳感器，LEMO連接器 

PI (Physik Instrumente)P-628.2CL 精密PIHera XY向納米定位系統(tǒng)，800微米 × 800微米，直接位置測量，電容傳感器，LEMO連接器 

PI (Physik Instrumente)P-629.2CL 精密PIHera XY向納米定位系統(tǒng)，1500微米 × 1500微米，直接位置測量，電容傳感器，LEMO連接器 

PI (Physik Instrumente)P-620.20L 精密PIHera XY向納米定位系統(tǒng)，60微米 × 60微米，不帶傳感器，LEMO連接器 P-621.20L 精密PIHera XY向納米定位系統(tǒng)，120微米 × 120微米，不帶傳感器，LEMO連接器 

PI (Physik Instrumente)P-622.20L 精密PIHera XY向納米定位系統(tǒng)，300微米 × 300微米，不帶傳感器，LEMO連接器 

PI (Physik Instrumente)P-625.20L 精密PIHera XY向納米定位系統(tǒng)，600微米 × 600微米，不帶傳感器，LEMO連接器 

PI (Physik Instrumente)P-628.20L 精密PIHera XY向納米定位系統(tǒng)，1000微米 × 1000微米，不帶傳感器，LEMO連接器  

德國PI應(yīng)用掃描顯微鏡壓電工作臺